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GDF9304型MEMS熱式質量流量芯片

產品概述

GDF9304流量傳感芯片是根據熱力學原理對流經芯片表面的氣體流量進行測量的。所有的焊盤均拉至一側以便于封裝。此外采用低熱源電阻,使其可以在低至5V電壓下工作,所以芯片功耗低。芯片敏感區域由一個加熱電阻和兩組熱電堆構成,熱電堆分布在加熱電阻兩端作為上游和下游,當有氣體流過時,上游熱量被帶走而冷卻,下游有熱量輸送而被加熱,熱量分布不再對稱,以上下游熱電堆的輸出電壓之差作為傳感器的輸出,提高了測量精度,降低誤差。
產品特點
 小流量段靈敏度高
 零點漂移小
 響應時間快
 耐振動、壓力和熱沖擊
 耐流動介質中粉塵顆粒引起的磨損
 信號調理電路簡單
應用領域
 醫學領域:麻醉機,呼吸機,肺活量計,呼吸器,制氧機。
 空氣調節系統(HAVC)
 汽車發動機中的空氣流量傳感器

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GDF9304型MEMS熱式質量流量芯片
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